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  • 产品展示
    F型涡轮分子泵
  • 用途及特点
  • 规格参数
  • 产品用途:Product Applications
     
    ●涡轮分子泵用于高头头线上娱乐和超高头头线上娱乐,它不能直接对大气排气,需要配置前级泵。
     
    主要应用领域:Main applications:
     
    ●表面物理和分析仪器
    ●等离子体物理,空间研究
    ●核聚变装置
    ●原子束分子束系统,粒子加速器
    ●头头线上娱乐镀膜
    ●头头线上娱乐冶炼
    ●半导体和光学器件制造

    产品特点:Product Features
     
    ●体积小,安装和使用方便
    ●理想的动平衡,震动和噪音小
    ●压力在10-1~10-8pa范围内有恒定的抽速
    ●陶瓷轴承使用寿命长
    F型涡轮分子泵
    Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
    技术参数Technical specifications:
    型号 
    Model
    FC-150/450
    FG-150/450
    FC-250/1400
    FG-250/1400
    F-400B/3500
    进气口法兰 
    Inlet flange  (mm)
    DN160CF
    DN160LF
    DN250CF
    DN250LF
    DN400LF
    出气口法兰 
    Oulet flange  (mm)
    DN40KF
    DN63LF
    DN100LF
    抽气速度  
    Pumping speed  (L/S)
    450
    1400
    3500
    极限压力
    Ultimate pressure
    不烘烤
    Without baking  (Pa)
    6×10-6
    6×10-6
    6×10-6
    压缩比
    Compression ratio
    对N2
    108
    108
    108
    对H2
    102
    102
    102
    转速RPM   (r/min)
    24000
    24000
    14100
    起动时间  
    Start-up time <(Min)
    5
    10
    20
    前级压力  
    Fore pressure <(Pa)
    10
    10
    10
    建议采用的前级泵
    Recommended backing pump  (L/s)
    8
    15
    30
    冷却水温度
    Cooling water temperature <(℃)
    ≤25
    ≤25
    ≤25
    冷却水压力
    Cooling water pressure (Mpa)
    0.196
    0.196
    0.196
    泵体烘烤温度
    Temperature of baking <(℃)
    120
    120
    120
    重量  
    Weight(Kg)
    35
    70
    125