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  • 产品展示
    FF型复合分子泵
  • 用途及特点
  • 规格参数
  •  
    产品用途:Product Applications
     
    ●FF型复合分子泵用来获得高头头线上娱乐和超高头头线上娱乐,其广泛应用于高能加速器、可控热核反应装置、等离子体物理空间研究、表面物理和分析仪器、半导体和光学元器件制造、平板显示、太阳能电池、头头线上娱乐镀膜、头头线上娱乐冶炼等涉及头头线上娱乐技术的电子、冶金、化工、科研等众多领域。

     
    产品特点:Product Features
     
    ●高压强段保持较大、稳定的抽速;
    ●前级耐压能力强;
    ●抗冲击能力强;
    ●易获得清洁的高头头线上娱乐或超高头头线上娱乐;
    ●设计独特的转子,安全性高;
    ●特殊的冷却系统,散热性好;
    ●振动小、噪音低;
    ●结构紧凑,安装、维护方便。
    FF型复合分子泵
    Model FF Compound Molecular Pump
     
    技术参数Technical specifications:

    型号 Model
    FF-250/1600
    FF-160/620
    ******工作压力Minimum operational pressure(Pa)
    <1×10-6
    <6×10-7
    抽气速率(对空气)Pumping speed for air(L/s)
    1700
    600
    压缩比Compression ratio
    对氮气 For N2
    >108
    >109
    对氢气 For H2
    >5×103
    >6×103
    进气口法兰Inlet flange
    LF250(DN250  IS0-K)
    DN160CF
    排气口法兰Outlet flange
    KF50(DN50  IS0-KF)
    KF40
    启动时间Starting time(min)
    ≤8
    ≤5
    额定转速Rated rotational speed (r/min)
    27000
    27000
    振动值Libration value(μm)
    ≤0.1
    ≤0.1
    注油量Oiling capacity (ml)
    210
    210
    推荐前级泵Recommended forevacuum pump
    2XZ-15D(15L/s)
    2XZ-4B/2XZ-8D(4-8L/s)
    轴承Bearing
    精密陶瓷球轴承
    Precision ceramic balls bearing
    精密陶瓷球轴承
    Precision ceramic balls bearing
    安装方式Operational orientation
    竖直Vertical(±5°)
    竖直Vertical(±5°)
    冷却方式Cooling method
    水冷 Water cooling
    水冷 Water cooling
    冷却水温度Cooling water temperature(℃)
    ≤25
    ≤25
    冷却水压力Cooling water pressure(MPa)
    0.196
    0.196
    泵体烘烤温度Pump body baking temperature(℃)
    ≤100
    ≤100
    环境温度Environment temperature(℃)
    5~40
    5~40
    重量Weight(Kg)
    47
    30